此款CVD生长系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。
产品性能:
1、炉膛采用多晶莫来纤维真空吸附制成,温场均匀节能50%以上
2、空气导流隔热技术保证箱内各部件的使用寿命及恒温效果
3、启动电炉,排温风机同时自动运行,试验结束后,排温风机将继续运行,直至炉体温度低于60℃,排温风机自行停止,有效保护了炉体表面
4、自动断电、超温保护功能、漏电保护功能,以确保使用的安全性
5、电路采用连续加热输出方式,双回路供电,强弱电单独走线提高了系统的稳定性
6、加热模块采用直流信号调节输出功率,避免了感应电对控制信号的干扰
7、自动补偿由于温度或老化对硅碳棒阻值变化带来的控温影响,避免人为调节的不准确性和危险性
8、采用数显流量显示仪,配合质量流量控制器,采集数据并控制流量。重复性好,相应速度快,稳定等特点。(气体质量流量控制系统)
9、自动控制与手动控制切换功能,自动控制模式能通过设定值自动开启/关闭真空泵,使容器内保持在一定的真空压力范围内。手动控制模式使用用户通过真空泵开启/关闭按钮直接操作真空泵。以满足不同实验的需要。(中真空控制系统)
10电磁阀缓启动技术,使电磁阀在真空泵开启10秒钟后打开,使炉管内系统压力保持准确,也保证了废气不会返回到炉管系统影响实验效果(中真空控制系统)
安全性:
1、过升报警、菜单锁定、过升防止、复电延时。
2、采用单向阀技术,使气体流量在可控压力范围内控制,安全。
3、采用混气罐装置,使气体可以在充分混合后导入工作室内,确保不会泄露。
型号 | 单温区 | CVD-TF14P40 | CVD-TF14P50 | CVD-TF14P60 | CVD-TF14P80 | ||||||||
单温区 | CVD-TF14T40 | CVD-TF14T50 | CVD-TF14T60 | CVD-TF14T80 | |||||||||
性能 | 使用温度范围 | 300~1400℃ | |||||||||||
温度分辨率 | 1℃ | ||||||||||||
控温 | ± 1℃ | ||||||||||||
升温速率 | 0~20℃/min | ||||||||||||
加热区长度 | 200mm | 400mm | |||||||||||
恒温区长度 | 70mm | 140mm | |||||||||||
真空度 | -0.1MPa | ||||||||||||
空炉升温时间 | ≤15min | ||||||||||||
配置炉管时升温速度 | 500℃以下≤5℃/min;500-1000≤10℃/min;1000-1200≤5℃/min;1000-1400≤2℃/min | ||||||||||||
构成 | 外装 | 冷轧钢板,表面耐药品性涂装 | |||||||||||
炉膛体 | 多晶莫来石纤维 | ||||||||||||
炉膛尺寸 | 360*350*350mm | 560*350*350mm | |||||||||||
炉管 | 刚玉管 | ||||||||||||
炉管尺寸 | Φ40/34*1000 | Φ50/44*1000 | Φ60/50*1000 | Φ80/70*1000 | |||||||||
加热器 | 硅碳棒 | ||||||||||||
加热功率 | 3KW | 5KW | |||||||||||
断热层 | 双层强制风导流 | ||||||||||||
打开方式 | 无 | ||||||||||||
控制 器 | 控制器 | P:进口程序控温数码显示; T:7寸彩色触摸屏程序控温 | |||||||||||
控制方式 | 使用微型电脑PID控制 | ||||||||||||
设定方式 | P:轻触五按键动作、数显设定; T:手指触摸轻点设定 | ||||||||||||
显示方式 | P:双行LED数字显示; T:彩色液晶屏显示 | ||||||||||||
定时 | 0~999.9小时 | ||||||||||||
运行功能 | 定值运行、程序运行 | ||||||||||||
程序模式 | P:程序运行、4条曲线、共40步; T:50步 可调用储存程序 | ||||||||||||
传感器 | S型热电偶 | ||||||||||||
附属功能 | P:校正功能; T:校正功能、实时曲线记录、U盘数据导出 | ||||||||||||
安全装置 | 过流漏电保护开关 | ||||||||||||
质量流量控制系统 | 气路数量 | 3路(可根据具体需要选配气路数量) | |||||||||||
流量范围 | 0-0500sccm(标准毫升/分,可选配)氮气标准 | ||||||||||||
精度 | ±1%F.S | ||||||||||||
响应时间 | ≤4s | ||||||||||||
工作温度(流量计) | 5-45℃ | ||||||||||||
工作压力 | 进气压力0.05-0.3MPa(表压力) | ||||||||||||
系统连接方式 | 采用KF快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪 | ||||||||||||
中真空控制系统 | 系统真空范围 | 10-100Pa | |||||||||||
真空泵 | 双级机械泵理论极限真空度3x10-1Pa,抽气速率4L/s,出气口配有油污过滤器,额定电压200V,功率0.55Kw | ||||||||||||
CVD系统配置 | 1400度真空管式炉 多路质量流量控制系统 真空系统 |