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1400℃真空/气氛管式炉CVD系统(CVD-TF)

CVD-TF14P40/50/60/80 CVD-TF14T40/50/60/80
此CVD系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。 优点 炉膛采用多晶莫来纤维真空吸附制成,温场均匀节能50%以上
自主研发的空气导流隔热技术保证箱内各部件的使用寿命及恒温效果
自动断电、超温保护功能、漏电保护功能,以确保使用的安全性…… 安全性 过升报警、菜单锁定、过升防止、复电延时。
采用单向阀技术,使气体流量在可控压力范围内控制,保证安全。
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■ 产品特点

提供具有真空、可控气氛及高温的实验环境

此款CVD生长系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。

产品性能:

1、炉膛采用多晶莫来纤维真空吸附制成,温场均匀节能50%以上

2、空气导流隔热技术保证箱内各部件的使用寿命及恒温效果

3、启动电炉,排温风机同时自动运行,试验结束后,排温风机将继续运行,直至炉体温度低于60℃,排温风机自行停止,有效保护了炉体表面

4、自动断电、超温保护功能、漏电保护功能,以确保使用的安全性

5、电路采用连续加热输出方式,双回路供电,强弱电单独走线提高了系统的稳定性

6、加热模块采用直流信号调节输出功率,避免了感应电对控制信号的干扰

7、自动补偿由于温度或老化对硅碳棒阻值变化带来的控温影响,避免人为调节的不准确性和危险性

8、采用数显流量显示仪,配合质量流量控制器,采集数据并控制流量。具有控制精度高,重复性好,相应速度快,稳定可靠等特点。(气体质量流量控制系统)

9、自动控制与手动控制切换功能,自动控制模式能通过设定值自动开启/关闭真空泵,使容器内保持在一定的真空压力范围内。手动控制模式使用用户通过真空泵开启/关闭按钮直接操作真空泵。以满足不同实验的需要。(中真空控制系统)

10电磁阀缓启动技术,使电磁阀在真空泵开启10秒钟后打开,使炉管内系统压力保持准确,也保证了废气不会返回到炉管系统影响实验效果(中真空控制系统)

安全性:

1、过升报警、菜单锁定、过升防止、复电延时。

2、采用单向阀技术,使气体流量在可控压力范围内控制,保证安全。

3、采用混气罐装置,使气体可以在充分混合后导入工作室内,确保不会泄露。


■ 技术参数
型号单温区CVD-TF14P40CVD-TF14P50CVD-TF14P60CVD-TF14P80

单温区CVD-TF14T40CVD-TF14T50CVD-TF14T60CVD-TF14T80
性能使用温度范围300~1400
温度分辨率1℃
控温精度± 1
升温速率0~20℃/min
加热区长度200mm400mm
恒温区长度70mm140mm
最大真空度-0.1MPa
空炉升温时间15min

配置炉管时升温速度500℃以下≤5/min500-100010/min1000-12005/min1000-14002/min
构成外装冷轧钢板,表面耐药品性涂装
炉膛体多晶莫来石纤维
炉膛尺寸360*350*350mm560*350*350mm
炉管刚玉管
炉管尺寸Φ40/34*1000Φ50/44*1000Φ60/50*1000Φ80/70*1000
加热器硅碳棒
加热功率3KW5KW
断热层双层强制风导流
打开方式
控制 器控制器P:进口程序控温数码显示;   T:7寸彩色触摸屏程序控温
控制方式使用微型电脑PID控制
设定方式P:轻触五按键动作、数显设定;   T:手指触摸轻点设定
显示方式P:双行LED数字显示;   T:彩色液晶屏显示
定时0~999.9小时
运行功能定值运行、程序运行
程序模式P:程序运行、4条曲线、共40步;    T:最大50步 可调用储存程序
传感器S型热电偶
附属功能P:校正功能;     T:校正功能、实时曲线记录、U盘数据导出
安全装置过流漏电保护开关
质量流量控制系统气路数量3路(可根据具体需要选配气路数量)
流量范围0-0500sccm(标准毫升/分,可选配)氮气标准
精度±1%F.S
响应时间≤4s
工作温度(流量计)5-45
工作压力进气压力0.05-0.3MPa(表压力)
系统连接方式采用KF快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪
中真空控制系统系统真空范围10-100Pa
真空泵双级机械泵理论极限真空度3x10-1Pa,抽气速率4L/s,出气口配有油污过滤器,额定电压200V,功率0.55Kw
CVD系统配置1400度真空管式炉       多路质量流量控制系统        真空系统


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